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    2018年

  • 201812

    首台14nm硬掩膜 ACHM 機台出廠到客戶端
  • 201810

    12英寸ALD通過客戶端14nm工藝驗證

    2017年

  • 201712

    首台量產型3D NAND PECVD 出廠到客戶端
  • 201710

    PF-300T在中芯國際生產線量產流片突破一百萬片
  • 20179

    SAP係統上線
  • 20178

    完成第三輪融資

    2016年

  • 201612

    拓荊新廠投入使用
  • 20164

    十一五重大專項通過國家驗收
  • 20163

    首台12英寸ALD出廠到客戶端

    2015年

  • 201512

    獲批國家十三五科技重大專項
  • 20159

    完成第二輪增資,獲國家集成電路產業投資基金戰略投資
  • 20153

    PF-300T在中芯國際生產線突破一萬片

    2014年

  • 201412

    獲批遼寧省薄膜裝備工程研究中心
  • 20148

    中芯國際首台量產機台PF-300T的設備訂單
  • 20145

    完成首輪增資

    2013年

  • 201312

    PF-300T通過中芯國際產品線測試
  • 20135

    首台12寸PF-300銷售

    2012年

  • 201212

    推出12英寸多反應腔PF-300T設備

    2011年

  • 201110

    首台12英寸PECVD出廠到中芯國際驗證
    成功研製2-12英寸單腔SC-300設備

    2010年

  • 201010

    12英寸PECVD樣機1裝調完成
  • 20104

    沈陽拓荊科技有限成立

    2009年

  • 20099

    12英寸PECVD設計工作啟動

    2008年

  • 200812

    獲批國家十一五科技重大專項
  • 20084

    首台CC1-150銷售

    2007年

  • 20076

    首台CC1-150裝調完成

    2006年

  • 20067

    PECVD事業部成立於中科院沈陽科儀

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2018年
  • 12

    2018
    首台14nm硬掩膜 ACHM 機台出廠到客戶端
  • 10

    2018
    12英寸ALD通過客戶端14nm工藝驗證
2017年
  • 12

    2017
    首台量產型3D NAND PECVD 出廠到客戶端
  • 10

    2017
    PF-300T在中芯國際生產線量產流片突破一百萬片
  • 9

    2017
    SAP係統上線
  • 8

    2017
    完成第三輪融資
2016年
  • 12

    2016
    拓荊新廠投入使用
  • 4

    2016
    十一五重大專項通過國家驗收
  • 3

    2016
    首台12英寸ALD出廠到客戶端
2015年
  • 12

    2015
    獲批國家十三五科技重大專項
  • 9

    2015
    完成第二輪增資,獲國家集成電路產業投資基金戰略投資
  • 3

    2015
    PF-300T在中芯國際生產線突破一萬片
2014年
  • 12

    2014
    獲批遼寧省薄膜裝備工程研究中心
  • 8

    2014
    中芯國際首台量產機台PF-300T的設備訂單
  • 5

    2014
    完成首輪增資
2013年
  • 12

    2013
    PF-300T通過中芯國際產品線測試
  • 5

    2013
    首台12寸PF-300銷售
2012年
  • 12

    2012
    推出12英寸多反應腔PF-300T設備
2011年
  • 10

    2011
    首台12英寸PECVD出廠到中芯國際驗證
    成功研製2-12英寸單腔SC-300設備
2010年
  • 10

    2010
    12英寸PECVD樣機1裝調完成
  • 4

    2010
    沈陽拓荊科技有限成立
2009年
  • 9

    2009
    12英寸PECVD設計工作啟動
2008年
  • 12

    2008
    獲批國家十一五科技重大專項
  • 4

    2008
    首台CC1-150銷售
2007年
  • 6

    2007
    首台CC1-150裝調完成
2006年
  • 7

    2006
    PECVD事業部成立於中科院沈陽科儀

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